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<p>● 6/8英寸兼容</p><p>● 设备结构简单，外形小</p><p>● 操作简便、便于自动控制、适合大面积基片刻蚀</p><p>● 优异的刻蚀均匀性，刻蚀速率快</p><p>● 选择比高、各向异性高、刻蚀损伤小</p><p>● 断面轮廓可控性高，刻蚀表面平整光滑</p>
